Materials Science in Semiconductor Processing, 169, 2024 doi:10.1016/j.mssp.2023.107870
Passeri Daniele, Morozzi Arianna, Fabi Michele, Grimani Catia, Pallotta Stefania, Sabbatini Federico, Talamonti Cinzia, Villani Mattia, Calcagnile Lucio, Caricato Anna Paola, Martino Maurizio, Maruccio Giuseppe, Monteduro Anna Grazia, Quarta Gianluca, Rizzato Silvia, Catalano Roberto, Cirrone Giuseppe Antonio Pablo, Cuttone Giacomo, Petringa Giada, Frontini Luca, Liberali Valentino, Stabile Alberto, Croci Tommaso, Ionica Maria, Kanxheri Keida, Menichelli Mauro, Moscatelli Francesco, Pedio Maddalena, Peverini Francesca, Placidi Pisana, Tosti Luca, Rossi Giulia, Servoli Leonello, Zema Nicola, Mazza Giovanni, Piccolo Lorenzo, Wheadon Richard, Antognini Luca, Dunand Sylvain, Wyrsch Nicolas, Bashiri Aishah, Large Matthew, Petasecca Marco